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协作机器人跟晶圆加工设备对接，做MES整厂自动化晶圆搬运解决方案，全自主知识产权上位机调度系统及规划
一台设备对接5台晶圆加工设备上下料，效率较人工作业提升68%，全自动化黑灯工厂，自主可控，多台设备自主调度，24小时作业；
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